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国内LDI光刻机所达到的量产精度是多少？
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国内LDI光刻机所达到的量产精度是多少？

国内LDI光刻机所达到的量产精度是多少？

June 27, 2023

目前，国内LDI光刻机所达到的量产精度（线宽），目前了解到的光学无掩膜的是在1UM+。

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