半导体晶圆检测对光源的要求，和普通工业检测完全不是一个量级。 晶圆表面是镜面级反射，微小的划痕、颗粒、膜厚不均，在普通照明下几乎看不见。检测精度要到微米级甚至纳米级，照明系统必须做到两件事：均匀，且不产生眩光。 晶圆检测为什么难打光？ 晶圆表面像一面镜子。光打上去，大部分被镜面反射走了，相机接收到的光很少。如果光源角度不对，图像要么一片黑，要么一片白，缺陷信息完全丢失。 另一个问题是热。晶圆检测通常在洁净室中进行，温度波动会影响测量精度。传统卤素灯发热量大，靠近晶圆时可能导致局部温升，干扰检测结果。 光纤照明怎么解决？ 同轴光纤照明是晶圆检测中最常用的方案。光从镜头正上方垂直照射，反射光沿原路返回进入相机——相当于“看到”的是晶圆正面的真实反射。同轴照明可以消除斜向阴影，让表面缺陷在均匀的明场中清晰呈现。 暗场环形光纤则是另一种思路。光以很大的倾斜角度从侧面照射，平坦表面反射的光进不了镜头，只有凸起的缺陷把光散射进相机。缺陷在暗背景下“亮”起来，对比度极高，适合检测微小颗粒和浅划痕。 冷光特性同样关键。鸿照S5000系列LED冷光源采用光热分离设计，热量留在光源主机，出光端没有热辐射。晶圆不会因光照而局部升温，测量结果更稳定。 用什么光纤？ 晶圆检测对光纤的均匀性和光谱特性有要求。石英光纤传输损耗低，光谱范围宽，适合需要特定波长检测的场景；玻璃光纤性价比高，适合常规可见光检测；环形光纤导光束和同轴光纤是晶圆检测中最常用的光形态。 鸿照科技可提供环形、同轴、线形等多种光纤导光束，支持玻璃光纤和石英光纤两种材质，可根据晶圆尺寸、检测波长和机台空间定制内径、外径和出光角度。 如果你正在为晶圆检测设备选型照明方案，欢迎联系鸿照技术团队交流。 关于南京鸿照科技有限公司 鸿照科技专注光传输领域，为医疗、工业、科研提供可靠的光纤传输解决方案。产品涵盖塑料光纤、玻璃光纤、石英光纤、光纤束、光导及传感器等，支持OEM/ODM定制。 官网：www.gohecho.cn｜邮箱：sales@gohecho.cn｜电话：(025)52374096